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HG真人游戏官方网站 三菱化学肯求锡化合物及抗蚀剂溶液专利, 看成高性能的抗蚀剂材料
发布日期:2026-06-14 22:33    点击次数:97

HG真人游戏官方网站 三菱化学肯求锡化合物及抗蚀剂溶液专利, 看成高性能的抗蚀剂材料

国度学问产权局信息袒露,三菱化学株式会社、盖列斯私有限公司肯求一项名为“锡化合物、锡组合物、它们的制造圭臬、抗蚀剂溶液、图案酿成圭臬、薄膜、图案化的薄膜以及基板的制造圭臬”的专利,公开号CN122180693A,肯求日历为2024年8月。

专利摘录袒露,通过平衡地具有溶化性、疏水性、抗蚀剂贤人度等特点,看成高性能的抗蚀剂材料,提供下述锡化合物。一种锡化合物,其是具有锡原子、有机基团R以及氧配体和/或羟基配体的锡化合物,hg真人游戏官方网站其中,在上述锡化合物一个分子中包含两种以上上述有机基团R,而况包含Sn-O-Sn结构,上述有机基团R具有1~30个碳原子。

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